SF6電氣設備本身（氣體質量和硬部件制造質量）是合格的，那么，運行的安全可靠性，在很大程度上將取決于安裝和調試質量，以及怎樣對SF6絕緣性能進行合理的監(jiān)督。SF6氣體到貨后，通過質量檢驗可以保證貨源質量水分含量不超過規(guī)定標準。但罐氣后，如果設備組裝條件不夠完善，則機器壁上附著的水分，設備的固體絕緣及澆注物中間的水分，以及由于密封效果、填料不同透過的水分，經過一段時間運行后，它們可能釋放出來，使得SF6設備的含水量出現(xiàn)變化。因此，針對實際情況，必須對SF6設備中氣體的質量進行監(jiān)測。依照《安規(guī)》第194條的具體規(guī)定，SF6氣體的三個檢驗周期時間是：

　�。�1）灌裝后至投運前的一次總體檢驗，重點檢驗空氣、水分和雜質含量。

　�。�2）運行后以三個月為周期的含水量檢驗，一般應連續(xù)進行三次周期性檢驗。

　　（3）經過檢驗證明，SF6氣體無變化，運行已經穩(wěn)定之后，則應轉為以年為周期的含水量檢測。當檢驗出氣體成份有明顯變化時，往往是質量和運行問題的反應，應按規(guī)定進行報告，必要時請專家診斷、鑒定或進行有關質量復核。